Realizzazione di film sottile di materiale piezoelettrico e misure preliminari

L’oggetto di questo lavoro di tesi è la realizzazione di un film sottile di materiale piezoelettrico, il nitruro di alluminio, con la tecnica del magnetron sputtering e la successiva esecuzione di misure elettriche preliminari. Tali misure consistono in una prima verifica del fenomeno della piezoelettricità nel materiale depositato, del suo andamento e della sua entità. Nel primo capitolo sono introdotti i film sottili con le loro applicazioni, segue poi una descrizione panoramica delle varie tecniche di realizzazione a partire dalla deposizione chimica e fisica da fase vapore fino ad arrivare ai metodi da fase liquida e solida. Nel secondo capitolo è approfondita la tecnica dello sputtering, che trova una dettagliata descrizione di tutte le sue varianti, con particolare attenzione al sistema magnetron perché usato in questo lavoro.