Nanofabbricazione di reticoli artificiali a semiconduttore e studio spettroscopico delle eccitazioni collettive

La tesi consiste nello studio, in alti campi magnetici e a basse temperature, delle proprietà ottiche di un gas bidimensionale (2DEG), confinato in un pozzo quantico di 25 nm in una eterostruttura AlGaAs\GaAs, nel regime in cui si induce sul 2DEG un potenziale cristallino attraverso tecniche di nanofabbricazione. In particolare, l’applicazione a dimensioni del nanometro di un motivo a forma reticolare sulla superficie del campione in cui è contenuto il pozzo quantico riesce ad indurre, nella struttura bidimensionale sottostante, una modulazione di potenziale, ricreando così una struttura cristallina nel 2DEG confinato. Il processo di nanofabbricazione a cui si è accennato fa uso di tecniche di litografia a fascio elettronico e di attacco chimico a secco attraverso l’uso dell’ Induced Coupled Plasma Reactive Ion Etching (ICP RIE).